-
1 electron-beam writing
2) электронно-лучевой перенос изображения с шаблона на пластину ( с резистом); электронно-лучевое экспонирование резиста ( для формирования топологии ИС)English-Russian electronics dictionary > electron-beam writing
Перевод: с английского на русский
с русского на английский- С русского на:
- Английский
- С английского на:
- Русский